高纯氮

  • 产品名称: 高纯氮
  • 产品分类: 高纯气
  • 化学名称:
  • 分子式:
  • 包装规格: 40升钢瓶。
  • 添加时间: 18/06/27
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      高纯氮:在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。

技术指标:执行国家标准 GB/T3634.2-2011

序号

指标名称

技术要求

1

氮气(N2)纯度,10-2

≥99.999

2

氧(O2)含量体积分数,10-6

≤3

3

水分(H2O)含量(体积分数,10-6

≤3

4

氩(AR)含量(体积分数),10-6

5

一氧化碳(CO)含量(体积分数),10-6

≤1

 6

二氧化碳(CO2)含量(体积分数),10-6

≤1

7

甲烷(CH4)含量(体积分数),10-6

≤4

8

氢气(H2)含量(体积分数),10-6

≤10




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